APCO精密划片机

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• 更新时间：2022-06-21
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日本APCO公司APCO精密划片机系列，型号包括AMC－7600，7800，8000。适用于TEM（透射电镜）和SEM（扫描电镜）等的样品制备工作，广泛应用于硅片、光掩膜、液晶显示器用TFT、石英、集成电路器件等样品横断面的切割。划片精度微米，适用于Z大达8英寸，厚度0.6至10毫米样品，可确保获得光滑的横断面以便于进一步观察。具有CPU控制，操作简便，制备速度快，可以刻划平坦或弯曲的样品。

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APCO精密划片机简介：

日本APCO公司精密划片机系列，型号包括AMC－7600，7800，8000。适用于TEM（透射电镜）和SEM（扫描电镜）等的样品制备工作，广泛应用于硅片、光掩膜、液晶显示器用TFT、石英、集成电路器件等样品横断面的切割。划片精度±15微米，适用于大达8英寸，厚度0.6至10毫米样品，可确保获得光滑的横断面以便于进一步观察。具有CPU控制，操作简便，制备速度快，可以刻划平坦或弯曲的样品。目前，包括东芝、索尼、爱普生、IBM、菲利普、NEC等许多国际半导体制造商都在使用APCO的产品。

APCO AMC-8000：

AMC-8000是AMC-7600、8000的改进型，主要是提高了划线精度。

光学显微镜采用美国著名的NAVITAR公司的伸缩镜头显微镜，通过CCD摄像机定位。

也可选用伸缩和微聚焦的电机驱动式。、

其他规格与AMC-7600相同。

《AMC-8000简要规格》

1. 适用材料：石英、硅片、玻璃、掩膜片、TFT基板、显象管、等离子体显示器等

2. 平面、曲面（CRT荧光面等）均可切划

3. 适用材料尺寸：大8"英寸

4. 划线精度：±2.5um

5. 大显示倍率：约800倍（在20寸CRT上）

6. 外形尺寸：650W×550D×650H（（不含CRT等）

7. 重量：约78Kg（不含CRT等）

APCO精密划片机主要特点：

1. 操作简单，自动划线准确，可间隔划线5处

2. 平面、曲面皆可划线，切线整齐，获

3. 划刀压力可自由设定，从2N～60N

4. 刀片寿命可达1年以上

5. 带报警装置，工作不正常时会报警

6. 适用于石英、硅片、研磨片、玻璃、TFT基板、显象管、等离子体显示器等

APCO AMC-8000参数规格：

1．适用材料尺寸    8英寸    10mmt
       2．工作台移动距离  X＝50mm  Y＝230mm  θ＝360度
       3．划线精度        ±15um
       4．光学系统        单筒收缩显微镜  实体显微镜
       5．监测            CCD＋14～20英寸彩显
       6．显示倍率        22～800倍
APCO AMC-8000切割压力设定实例：

石英    8.85mmt           约45N
       石英    3.00              约30N
       石英    2.30              约25N
       玻璃    10mm（14"CRT）   约55N
       玻璃    0.8mm             约12N
       Si      0.7mm             约5N
       显象管  10mm
       硅片（Si、InP）
APCO AMC-8000切成片实例：

6025石英掩膜→6.35mm×约5mm×约5mm
       1.2mmt玻璃  →1.2mm×约5mm×约50mm
       0.7mmt硅片  →0.7mm×约4mm×约4mm
       3mmt InP片  →0.3mm×约0.5mm×约5mm

APCO AMC-8000刀压设定很容易

刀压由旋钮自由设定。对一种试样，可改变几次设定值试划，便可得到合适的刀压。以合适刀压划线后，用附属的切断钳很容易切断。
APCO AMC-8000划线设定简单

只要将划线端点对准OM表针中心位置，按压设定指令按钮即可，此位置即为划线起点或终点。
大设定12点（间隔划线大可设定5点）设定后，装置即自动划片。
APCO AMC-8000划刀寿命长（1年以上）的理由：

1. 采用超硬刀轮，旋转划片，不易磨损。

2. 超硬刀轮的行走方向由工作台的行走方向调节。

   带有声响警告装置，在下列情况下装置警告且不工作

3. 当工作台旋转锁定未卡好时；

4. 设定位置不当时；

5. 设定次数与要划线次数不符合时。

   安全保证

漏电切断，无熔线断路器。

APCO AMC-8000补充说明：
本机不是大批量生产用的，而是在使用SEM观察各种半导体硅片、各种玻璃材料等不良部位及试制品合格与否时，为其制作试样用的机器。使用该机的主要时研究开发部门、品质管理部门、分析/解析部门。
本机的特点及剖面SEM试样的加工工艺如下：
一．特点

1. 制作试样无需研磨，一般制作试样时时先将试样埋入树脂后，而研磨而制成的，故制作一个试样需要花几个小时，本机则只需要15分钟左右。

2. 采用*的跳跃间隔划线方式，不会伤及观察部分（试样表面）。

3. 使用显微镜，能很容易输入划线加工部分的坐标位置。

4. 提高了X轴方向的分辨率，以便能从要观察的部分切断。

二．加工工艺过程：

1. 先在要观察的微小部位的前后表面划线，以便之后切断。

2. 用夹钳夹住试样，切断。

三．划线精度：
AMC-7600     ±15um
AMC-7800     ±15um
AMC-8000     ±2.5um
四．划线宽度由试样和划线加工条件而异，约为数100 um
五．大5点跳跃间隔划线，如后图所示，用显微镜观察试样表面时，如果观察部分遭到破坏，便无法观察，本机可预先设定好划线坐标位置，自动地跳过要观察的部位，这样便不会划伤要观察的部位了。而且一次划线可取得5个要观察的位置。
但条件是硅片等结晶材料，其观察部位要沿结晶方向在一条直线上。
六．?划刀价格：15000－30000日元。（属日本国内价格，且带刀架）。
七．划刀寿命：以加工硅片为例，每年需换2－3次刀。
八．的使用方法：

1. 将划过线的试样装在机子上；

2. 旋转冲压旋钮轻轻固定；

3. 将试样划线与悬臂前端中心线对齐；

4. 慢慢旋动冲压旋钮，将试样切断。